環氧乙烷滅菌包括預熱、預濕、抽真空、通入氣體環氧乙烷達到預定濃度、維持滅菌時間、清除滅菌柜內環氧乙烷氣體、解析滅菌物品內環氧乙烷的殘留等過程。環氧乙烷氣體為易燃易爆、有毒氣體，在使用時需注意做好自我防護，嚴格按照滅菌器操作要求進行操作，違規操作將造成有毒氣體泄露，不但會造成人員身體傷害并存在爆炸及火災危險。

環氧乙院氣體滅菌需根據滅菌物品的種類、包裝、裝載量與方式不同，選擇合適的溫度、濃度和時間等滅菌參數，滅菌物品需保證清潔干燥，避免過量裝載，以免造成滅菌失敗。過氧化氫低溫等離子體滅菌通過過氧化氫液體彌散變成氣體狀態后對物品進行滅菌，通過產生的等離子體進行第二階段滅菌等離子過程還可加快、徹底分解過氧化氫氣體在器械和包裝材料上的殘留。

等離子體滅菌法的特點為作用迅速、殺菌可靠、作用溫度低、清潔而無毒性殘留。適用于不耐熱、不耐濕的診療器械的滅菌，如電子儀器、光學儀器等診療器械的滅菌，不適用于布類、紙類、水、油類、粉劑等材質的滅菌。等離子滅菌應在專用的過氧化氫低溫等離子體滅菌器內進行，一次滅菌過程包含若干個循環周期，每個循環周期包括抽真空、過氧化氫注入、擴散、等離子化、通風五個步驟。過氧化氫為強氧化劑，在使用時需注意做好防護，防止皮膚、黏膜被滅菌劑沾染。過氧化氫等離子滅菌方式對被滅菌物品的材質、結構、干燥程度等有著極高的要求，應嚴格按照滅菌器使用要求進行滅菌，以免造成滅菌失敗。

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