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潔凈室的定義

返回列表 來源:未知 發布日期:2024-05-31 16:16【

微電子產業研發、生產的對象為晶圓(Wafer),晶圓在無塵工廠(Fab)里被制造(Fabrication)出來,再進行封裝測試等環節;這些生產過程對工廠空間環境要求相當嚴格,環境溫度、濕度、風速、空氣微塵含量、靜電、光照等都會影響晶圓的良率Yield);因此,需要一個特殊的生產環境,即無塵潔凈室(Clean Room),又稱為無塵室、潔凈室或無塵車間。

 

潔凈室的分類方法眾多,根據研究對象的不同可以分為工業級和生物級兩大類。工業級主要用于微電子、航空航天、核工業等高科技行業,一般對空氣中懸浮粒子粒徑和濃度進行控制;生物級主要用于生物病原體研究、醫學疫苗生產等,主要控制對象為醫學微生物

 

潔凈室對室內環境要求極高,需要對室內流動空氣懸浮粒子濃度進行嚴格控制,在潔凈室的使用過程中應減少對室內空氣懸浮粒子的引入、產生及滯留,這需要對潔凈室進行定期清潔、保養、檢測;并對室內其他有關參數如潔凈度、室溫、濕度、靜電、氣壓等按要求進行控制;不論潔凈室外界環境如何變化,潔凈室內均能維持恒定的室內環境參數性能,以滿足科研、生產使用需求